OTSUKA廣州代理OTSUKA 內置膜厚監控器 FE-3200I 大塚電子
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 內置膜厚監控器 FE-3/200I 日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內置膜厚監控器FE-3日本OTSUKA大
- 型號：
特 長
分光干渉法を用いた膜厚計 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許 第4834847號） オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能 各種製造裝置への組み込みが可能 リアルタイムでの膜厚測定が可能 遠隔操作、多點測定に対応 長壽命、高安定性の白色LED光源を採用
測定項目
多層膜厚解析
用 途
光學フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど） FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など） 仕 様
型式 FE-3/40C FE-3/200I 全測定方式 分光干渉式 測定膜厚範囲（ｎｄ値） 20 nm ～ 40 µm 3 µm ～ 200 µm 測定波長範囲 430 nm ～ 650 nm 900 nm ～ 1600 nm 膜厚精度 ± 0.2 nm 以內 *1 - 繰り返し精度 0.1 nm 以內 *2 - 測定時間 0.1 s ～ 10 s 以內 スポット徑 約 φ 1.2 mm 光源 白色LED ハロゲン オプティカルファイバー 投受光用Y型ファイバー 1.5 ｍ ～ 100 m 寸法、重量 300（W) × 300（D） × 150（H） mm、 約 10 kg ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析 *1 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ（包括係數2.1）
.
.
.
.
.
網址：www.cinhuanet.com.cn 或www.fujino.net.cn
本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機 ，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機 ，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特
科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯
傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品