OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3/40C日本OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3日本OTSUKA大塚電子內(nèi)置膜厚監(jiān)控器FE-3日本OTSUKA大塚電子
特 長(zhǎng)
分光干渉法を用いた膜厚計(jì) 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許 第4834847號(hào)） オプティカルファイバーにより自由な測(cè)定系の構(gòu)築が可能 各種製造裝置への組み込みが可能 リアルタイムでの膜厚測(cè)定が可能 遠(yuǎn)隔操作、多點(diǎn)測(cè)定に対応 長(zhǎng)壽命、高安定性の白色LED光源を採(cǎi)用
測(cè)定項(xiàng)目
多層膜厚解析
用 途
光學(xué)フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど） FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など） 仕 様
型式 FE-3/40C FE-3/200I 全測(cè)定方式 分光干渉式 測(cè)定膜厚範(fàn)囲（ｎｄ値） 20 nm ～ 40 µm 3 µm ～ 200 µm 測(cè)定波長(zhǎng)範(fàn)囲 430 nm ～ 650 nm 900 nm ～ 1600 nm 膜厚精度 ± 0.2 nm 以內(nèi) *1 - 繰り返し精度 0.1 nm 以內(nèi) *2 - 測(cè)定時(shí)間 0.1 s ～ 10 s 以內(nèi) スポット徑 約 φ 1.2 mm 光源 白色LED ハロゲン オプティカルファイバー 投受光用Y型ファイバー 1.5 ｍ ～ 100 m 寸法、重量 300（W) × 300（D） × 150（H） mm、 約 10 kg ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析 *1 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書(shū)記載の測(cè)定保証値範(fàn)囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測(cè)定時(shí)における拡張不確かさ（包括係數(shù)2.1）
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