OTSUKA廣州代理OTSUKA 光譜干擾晶圓厚度計 SF-3 大塚電子
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 光譜干擾晶圓 厚度計 SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTSUKA大塚電子光譜干擾晶圓厚度計SF-3日本OTS
- 型號：
光學式により非接觸?非破壊での厚み測定が可能 スペクトル解析後による條件出し 高速でリアルタイムに研磨モニタが可能 保護フィルム、窓材など中間層越しの計測が可能 多層厚み解析 獨自解析エンジンを搭載（特許出願中） 厚み測定に最適な獨自の解析アルゴリズムを採用（特許取得済み） 厚み分布を自動でマッピング可能
測定項目
膜厚解析（5層）
用 途
Si部材の厚み評価 シリコン、化合物半導體の研削評価用 1.3mm 次世代450mmウェーハ 775µm 300mmウェハ TSVウェーハ（ビア上Si膜やSi層膜測定） シリコンウェーハ以外の素材にも幅広く対応（SiO2、樹脂膜） 仕 様
型式 SF-3 厚み測定範囲 0.1µm～10µm、15µm～1000µm、10µm～775µm * 、50µm～1600µm* 繰り返し精度 0.01%以下 測定時間 最速200µs（5kHz） 測定用光源 半導體光源 測定徑 最小φ6µm WD 10mm以上の任意の距離による 寸法 123（W）×224（D)×128（H）mm（突起物を除く） * ただし表面狀態による
12インチウェーハ以下高速マッピング可能なコンパクトマッピング仕様
高速Rθステージ SF-3Rθ
特 長
Rθ可動軸による高速マッピング仕様 コンパクト設計マッピングステージ 半導體プロセス裝置への組込み可能（組込みマッピング仕様） オリフラ、ノッチの畫像認識機能 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現性を実現 貼り合せウェハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定 多層厚み測定が可能 オリフラ、ノッチの畫像認識によるウェーハ面內高精度位置決めを実現
仕 様
型式 SF-3Rθ 光學系 光學プローブ 厚み測定範囲 0.5 ～ 1600µm * 可動軸 Rθ 測定徑 φ6、φ9、φ500µm ステージ面サイズ φ300mm 可動軸ストローク R軸：±150mm、θ軸：360° ウェーハサイズ 300ｍｍ以下 計測時間 61ポイント/60ｓ以下 最大駆動速度 150ｍｍ/ｓ ステージ分解能 10µｍ以下 繰り返し位置決め精度 50µｍ以下 その他機能 畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能 吸著 あり 特注 アライメント対応、ローダ対応
* 分光器のタイプに依存
.
.
.
.
.
網址：www.cinhuanet.com.cn 或www.fujino.net.cn
本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機 ，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機 ，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特
科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯
傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品