日本源頭報(bào)價(jià) magnescale 索尼 ?磁柵尺 BS78 高分辨率標(biāo)尺
2024-12-16 11:51:56
fujino
磁柵尺
BS78
特點(diǎn)
在保持高速和高分辨率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定和超精確的測(cè)量。最適合精密工作臺(tái)、半導(dǎo)體檢查/制造設(shè)備、超精密加工機(jī)等。
信號(hào)波長(zhǎng)為 138 nm 的高分辨率標(biāo)尺，超過光波干涉儀
高穩(wěn)定性，不受濕度、壓力和空氣湍流的影響
原點(diǎn)精度：±0.1μm
精度：±0.04μm以下（有效長(zhǎng)度40mm）
完全非接觸，原則上不會(huì)出現(xiàn)退貨錯(cuò)誤
有效長(zhǎng)度：40～420mm、9種（-R/-RS）
有效長(zhǎng)度：10～420mm，10種（-N/-NS）
真空、非磁性兼容（特殊規(guī)格）
使用低膨脹玻璃：-0.7×10 -6 /℃（有效長(zhǎng)度：10～420mm）
分辨率：2.1pm
規(guī)格
| 型號(hào)名稱 | BS78 | |
| 有效長(zhǎng)度：L（毫米） | 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420（10 僅適用于 N/NS） | |
| 秤總長(zhǎng) | 58mm（有效長(zhǎng)度10mm：懸臂式）有效長(zhǎng)度+26mm（有效長(zhǎng)度40～420mm） | |
| 最大可動(dòng)長(zhǎng)度 | 有效長(zhǎng)度+2mm（有效長(zhǎng)度10mm：懸臂式） 有效長(zhǎng)度+10mm（有效長(zhǎng)度40～420mm） | |
| 準(zhǔn)確度（20℃時(shí)） |
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| 晶格間距 | 約0.55μm | |
| 信號(hào)波長(zhǎng) | 約0.138μm（約138nm） | |
| 原點(diǎn)精度 | ±0.1μm（僅限R/RS型） | |
| 原點(diǎn)位置 | 距中心及中心左右各50mm（僅限320、370、420mm有效長(zhǎng)度，以50mm間隔距中心偏移20mm） | |
| 原點(diǎn)檢測(cè)方向 | 單向 | |
| 溫度膨脹系數(shù) | -0.7×10 -6 /℃ | |
| 光源 | 半導(dǎo)體激光器波長(zhǎng)790nm 輸出6mW | |
| 輻射功率 | DHHS 1 級(jí) | |
| 檢測(cè)方法 | 衍射光柵掃描型 | |
| 工作溫度范圍 | 10℃～30℃（無(wú)凝露） | |
| 儲(chǔ)存溫度范圍 | -10°C 至 50°C（濕度 60% 或更低） | |
| 最大響應(yīng)速度 | 400毫米/秒 | |